[컨슈머타임스 최동훈 기자] 반도체 장비업체 테스는 유기발광다이오드(OLED) 장비에 적용되는 기술에 대한 특허를 취득했다고 28일 공시했다.
특허명칭은 '기판처리장치'다. 테스에 따르면 이 기술을 통해 OLED 제조 공정에 쓰이는 가스중 일부를 선별해 가열시켜 공정 조건을 자유롭게 수립할 수 있다. 또 가스를 급속 공급·냉각할 수 있어 부산물을 효과적으로 제거할 수 있다는 설명이다.
회사는 해당 기술을 OLED 장비에 적용하고 연구개발(R&D) 활동에도 응용해 제품경쟁력 강화를 도모할 계획이다.
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