[컨슈머타임스 최동훈 기자] 반도체 장비 제조사 디이엔티는 반도체 장비 기술 특허를 취득했다고 23일 공시했다.
특허명칭은 '스팀 분사 모듈'이다.
디이엔티는 이 특허를 활용해 디스플레이 검사장비의 제품 경쟁력을 강화시킬 계획이다.
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[컨슈머타임스 최동훈 기자] 반도체 장비 제조사 디이엔티는 반도체 장비 기술 특허를 취득했다고 23일 공시했다.
특허명칭은 '스팀 분사 모듈'이다.
디이엔티는 이 특허를 활용해 디스플레이 검사장비의 제품 경쟁력을 강화시킬 계획이다.