컨슈머타임스=전은정 기자 | HB솔루션이 그동안 지속적으로 연구개발을 해왔던 초정밀 반도체 계측장비 '나노 마이스(Nano-MEIS)' 가 올해부터 성과를 거둘 전망이다. HB솔루션은 반도체 계측장비 시장에 본격 진출하게 된다고 4일 밝혔다.
지난 2021년 SK하이닉스 분석실에 나노마이스 장비가 반입된데 이어, 올해에는 국내외 유수의 종합 IDM업체에도 장비가 반입될 것으로 기대하고 있다. 회사측은 "그동안 여러 글로벌 대형 IDM회사들과 시료테스트를 진행해왔던 나노마이스 장비가 올해 데모장비 반입을 목전에 두고 있다"고 밝혔다.
HB솔루션이 개발에 성공해 글로벌 반도체 및 파운드리 회사에 공급을 추진하는 나노마이스는 중 에너지 이온을 활용하여 반도체 산화막의 조성 및 두께를 비파괴적으로 분석할 수 있는 장비로, 산화막의 두께 뿐만 아니라 나노박막, 양자점, 3차원 나노 소재 등을 원자층 분해능으로 분석할 수 있다. 나노마이스 장비에 적용되는 초정밀 분석 기술은 진입장벽이 높아 그동안 100% 외산장비가 독점하고 있는 장비이다. 시장규모도 매우 크고 적용처도 무궁무진해 향후 회사의 새로운 주력 아이템이 될 것으로 보인다.
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