[컨슈머타임스 조선혜 기자] 에스엔유는 원자층 증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 5일 밝혔다.

기판이 각 증착소스에 노출되는 시간을 조절해 기판의 양방향 이송에도 사용 가능하도록 할 수 있는 원자층 증착장치에 관한 것이라고 업체 측은 설명했다. 

디스플레이 제조장비 등에 활용할 계획이라고 덧붙였다. 

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