[컨슈머타임스 이지연 기자] 테스는 박막 증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 17일 공시했다.

회사측은 "이번 특허를 활용해 복수의 기판을 동시에 이동시켜 기판 처리량을 향상시킬 수 있다"며 "원자증착장비 개발 시, 본 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 계획"이라고 밝혔다.

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